主要特点：
成熟的模块化工艺组合
可面向用户工艺需要，定制化设计
已应用于20nm级别IC工艺线
针对LED生产线，提高整体解决方案
全自动清洗/手动清洗可选
整机防漏液设计
广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业
标准配置：
高纯进口板材
高结晶工艺管道
高洁净气动阀门
防腐机械手
伺服电机驱动
人机对话界面，触摸屏操作
标准工艺模块
SC-I溶液腐蚀槽
SC-II溶液腐蚀槽
SC-III溶液腐蚀槽
QDR槽
循环清洗槽
超声/兆声清洗槽
可选模块：
鼓氮
水溶超声/水浴兆声槽
槽内加热/制冷循环
漏液检测
水阻检测
自动供液系统
自动配液系统
自动灭火系统（有机清洗）
ESD功能（有机清洗）
MES接口（可选）
