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EVG320 D2W 混合键合离子活化和清洁系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/7/7 13:01:52
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
1.产品简介EVG320D2W混合键合离子活化和清洁系统是一个高度灵活的平台,具有通用的硬件/软件接口,可与第三方拾放芯片键合系统无缝集成
EVG320 D2W 混合键合离子活化和清洁系统 产品信息
1. 产品简介
EVG320 D2W混合键合离子活化和清洁系统是一个高度灵活的平台,具有通用的硬件/软件接口,可与第三方拾放芯片键合系统无缝集成。根据集成和线路平衡要求,它也可以作为单独系统运行。该系统结合了EVG的高级清洁和等离子体活化技术,该技术可在其行业标准的W2W晶圆片对晶圆片熔融键合和混合键合平台上使用,并且已在数百个已安装的模块中得到验证。此外,EVG320 D2W还具有EVG的对准验证模块(AVM),这是一个集成的计量模块,可以向芯片键合机提供有关关键工艺参数的直接反馈,这些关键工艺参数包括芯片放置精度和芯片高度信息以及键合后的度量,可用于改进过程控制。
2. 应用领域

借助EVG在混合键合技术上数十年的经验,EVG320 D2W满足了对创新工艺解决方案的关键需求,这些工艺解决方案可以加快异构集成的部署并支持新一代设备和系统,例如高带宽存储器(HBM),逻辑开-内存,小芯片,分段和3D片上系统(SoC)设备,以及3D堆叠式背面照明CMOS图像传感器。

混合键合面示意图.jpg

3. 产品参数特征
多达六个工艺过程模块;
全自动盒带间或FOUP到FOUP处理;
通用模架输入,包括胶卷框架和定制的模架格式;
通用硬件/软件接口可实现与第三方贴装芯片键合系统的无缝集成;
行业标准的清洁和活化模块,用于熔融和混合键合;
计量模块,允许前馈和反馈回路连接到主机和连接的拾取和放置芯片键合系统。
关键词:图像传感器
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