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EVG520 IS-晶圆键合系统(晶圆键合机)

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/7/7 12:57:49
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
EVG520IS-晶圆键合系统是单腔或双腔晶圆键合系统(晶圆键合机),用于小批量生产
EVG520 IS-晶圆键合系统(晶圆键合机) 产品信息

EVG520 IS-晶圆键合系统是单腔或双腔晶圆键合系统晶圆键合机,用于小批量生产。

一、简介

EVG520 IS晶圆键合机单腔单元可半自动操作200 mm的晶圆,适用于小批量生产应用。EVG520 IS晶圆键合机根据客户反馈和EV Group的持续技术创新进行了重新设计,具有EV Group专有的对称快速加热和冷却卡盘设计。诸如独立的顶侧和底侧加热器,高压键合能力以及与手动系统相同的材料和工艺灵活性等优势,为所有晶圆键合工艺的成功做出了贡献。

二、特征

  • 全自动处理,手动装卸,包括外部冷却站
  • 兼容EVG机械和光学对准器
  • 单室或双室自动化系统
  • 全自动的键合工艺执行和键合盖移动
  • 集成式冷却站可实现高产量
选项:
  • 高真空能力(1E-6毫巴)
  • 可编程质量流量控制器
  • 集成冷却

三、技术数据

  • 晶圆键合机接触力:10、20、60、100 kN
  • 加热器尺寸:150毫米、200毫米
  • 最小基板尺寸:单芯片、100毫米
  • 真空:标准:1E-5 mbar
  • 可选:1E-6 mbar


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