1. 产品概述
- FR-pRo膜厚仪: 按客户的需求量身定制的薄膜特性测量工具。
- FR-pRo膜厚仪是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备,用于测量厚度范围为1nm-1mm 的涂层。
- FR-pRo膜厚仪广泛应用于各种不同的应用。 包括:
- 吸收率/透射率/反射率测量,薄膜特性在温度和环境控制下甚至在液体环境下的表征等等…
2. 膜厚仪应用
- 大学&研究实验室
- 半导体行业
- 高分子聚合物&阻抗表征
- 电介质特性表征
- 生物医学
- 硬涂层,阳极氧化,金属零件加工
- 光学镀膜
- 非金属薄膜等等…
FR-pRo膜厚仪可由用户按需选择装配模块,和心部件包括光源,光谱仪(适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统)和控制单元,电子通讯模块。
此外,还有各种各种配件,比如:
- 用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架;
- 用于表征涂层特性的薄膜厚度工具;
- 用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒;
- 漫反射和全反射积分球。
通过不同模块组合,蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。
3. 膜厚仪规格(Specificatins )

4. 膜厚仪配件(Accessries)
电脑 19 英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑 聚焦模块 光学聚焦模块安装在反射探头上,光斑尺寸<100um 薄膜/比色皿容器 在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量 接触式探头 用于涂层厚度测量和光学测量的配件,适用于弯曲表面和曲面样品 显微镜 用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量 自动化平台薄膜测绘 带有圆晶卡盘的Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自动化样品台可选,Polar(R-Θ)样品台支持反射率测量,Cartesian(X-Y)样品台支持反射率和透射率测量 积分球组件 用于测量涂层和表面的镜面反射和漫反射 手动 X-Y 样品台 测量面积为 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的X-Y 手动平台 加热模块 嵌入FR-tool 中,范围由室温~200oC,通过FR-Monitor 运行可编程温控器(0.1 oC 精度). 液体模块 聚四氟乙烯容器,用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具, 用于将样品插入可处理 30mmx30mm 样品的液体中 流通池 液体中吸光率、微量荧光测量
5. 膜厚仪工作原理
白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光,在经多层或单层薄膜反射后,经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜(透明,半透明或全反射衬底)的厚度及 N*K 光学常数。
* 规格如有更改,恕不另行通知; ** 厚度测量范围即代裱光谱范围,是基于在高反射衬底折射率为 1.5 的单层膜测量厚度。


















