| 参数 | FR-系列 | 椭偏仪 | 探針针式轮廓仪 | X 射线反射率 (XRR) |
| 最小测量厚度 | 1nm | <1nm | 20nm | <1nm |
| 测量厚度 | 500um | 10um | Few mm | 200-300 nm (depending on the contrast) |
| 折射率测量 | 是 | 是 | 否 | 否 |
| 厚度测绘 | 是 | 是 | 是 | Time consuming |
| 阶高轮廓 | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 制程即时监控能力 | 高 | 中等 | N/A | N/A |
| 探头位于样品正上方 | 是 | 否 | 否 | 否 |
| 整体测量速度 | 高 | 中等 | Slow | Very Slow |
| 数据获取率 | 10msec / 每次测量 | >2sec-快速模式, >10 sec. –标准模式 | 5-30sec / 每次测量 | 平均：30 分钟 / 每次测量 |
| 可移動性 | 是 | 否 | 否 | 否 |
| 易于使用 | 是 | 中等 | 是 | 否 |
| 破坏性檢測 | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 需特别训练 | 否 | 是 | 否 | 是 |
| 移动部件 | 否 | 是 | 是 | 是 |
| 重复性/稳定性 | 0.1nm | 0.1nm | 0.4nm | 是 |
| 热环境测量 | 是 | 是 | 否 | Ν/Α |
| 样品制备 | 否 | 否 | 是 | 否 |
| 多层测量 | 是 | 是 | 否 | 是 |
| 定制 | 是 | 否 | 否 | 是 |
| 反射率、透射率、吸收率、镜面反射/漫反射、雾度、颜色测量 | 是 | 是(特定条件下) | 否 | 否 |
| 尺寸 | 手持/桌面 体积小(>300mm W x 110mm D x 40mm H)* | 桌面 体积中等(500 mm W x 300 mm D x 300 mm H) | 桌面 体积中等(450 mm W x 550 mm D x 350 mm H) | 体积大(1400mm W x 850mm D x 1800 H) |
| 重量 | 0.65Kg * | >17 kg | >30 kg | >350Kg |
| 更换零件的价格 | 低 | 高 | 高 | 极高 |
| 价格（基本系统） | 低(<$10K) | 高(>$30K) | 高(>$30K) | 极高 |
| 可測量特性 | 膜厚 折射率 表面粗糙度 均匀度 | 单波长椭偏仪 膜厚 折光率 椭偏仪 膜厚 折射率 表面粗糙度 均匀度 双折射 结晶度 各向异性 | 膜厚 台阶高度 粗糙度 波度 二维应力 表面曲率 | 除了厚度之外，还提供以下信息：每个子层的粗糙度、密度和厚度、子层之间的相互扩散 |
