产品简介
UNIXX He45型热板是一款立式半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
产品特色
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢，采用 PEEK 材料 (250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
n主要技术数据
÷ 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: Ø50 mm (Ø2”) ,可达 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
n可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）
÷ 600℃热板
÷ 真空泵
