产品简介
BASIXX SB20 +是一款台式半自动匀胶机系统，功能*，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。
产品特色
÷ 落地台式机，结构紧凑，所有单元集成在一台设备中，集成度高。
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底可达Ø200mm(Ø8 inch)或150x150mm (6x6inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且可编程
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 外壳上有电源开关ON/OFF
÷ 工艺腔和可更换防溅环，易于拆卸以进行清洁。
÷ 系统材料为PP材质，耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。
÷ 包括 0.5 升废液瓶
技术数据
÷ 衬底尺寸: 可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 电机转速: 10.000rpm,步长1rpm
÷ 电机加速: 4.000rpm/s
÷ 步进时间: 1 至999.9s，步长为0.1s
÷ 工艺腔材质: 由天然PP制成
÷ 系统架构材质: 由白色PP制成
÷ 液体线路：
3线: 2 x 24 V /1 Amp (每条)/触发点 0.1秒-∞
5线: 6 x 24 V /1 Amp (每条)/触发点 0.1秒-∞
选项
÷ 自动液体输送臂 ÷ 液体罐 ÷ 防溅环
÷ 废液池 ÷ DI水冲洗 ÷ N2吹扫
÷ 热板 ÷ 不同类型的夹具 ÷ 中心定位模块
