产品简介
BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。
产品特色
÷ 桌面版本的紧凑型设计
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或150x150 mm (6 x 6 inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且可编程
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。
÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)
÷ 包含 0.5 升废液瓶
技术数据
÷ 衬底尺寸: 可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或150 x 15 mm (6x6inch)
÷ 电机转速: 10.000rpm，步长1rpm
÷ 电机加速: 4.000rpm/s
÷ 步进时间: 1至999.9s，步长为0.1s
÷ 工作腔材料: PP
÷ 系统架构材料: PP
÷ 液体线路：
3线: 2x24 V/ 1 Amp (每条)/触发点0.1秒-∞
5线: 6x24 V/ 1 Amp (每条)/触发点0.1秒-∞
选项
÷自动液体输送臂 ÷液体罐 ÷ 防溅环
÷ 废液池 ÷ DI水冲洗 ÷ N2吹扫
÷热板 ÷不同类型的夹具 ÷ 中心定位模块
