特征:
可检查铬膜、半色调膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自动判别
不仅是表面缺陷,内部缺陷和背面缺陷也同时检查。
有助于缺陷分析的4种Review图像。
“AI Classify”进行缺陷分类、好坏判定。
免维护。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合检查装置。
能检出至今为止检查不出的缺陷。
检出缺陷:颗粒、划痕、凹坑、气泡。
规格:
检查激光:405nm 200mW LaserDiode
检查时间:180sec
检查对象:6英寸 Photomask blanks
设备尺寸:WxDxH=450x500x730mm
使用电源:AC100V~200V 10A


















