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nSpec LS 晶圆缺陷检测光学系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/7/8 9:44:05
  • 访问次数54
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷
nSpec LS 晶圆缺陷检测光学系统 产品信息
本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷。是一套实用的晶圆缺陷检测光学系统。无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
nSpec LS是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自动晶圆缺陷检测功能
·基板,外延和图案化晶圆
·透明和不透明的材料
·在胶片胶带,托盘,凝胶包装或蛋饼形包装上模切
·光罩
·样品碎片
2. 系统
·多种分辨率设置,范围从0.25 µm及更高
·快速扫描
·可定制的缺陷报告
·各种样品夹头可满足特定需求
·对缺陷或感兴趣的特征进行检测和分类的鲁棒分析
·检查和审查程序
·多系统同步
·占地面积小,设施要求zui少
·机架安装控件
3. 系统参数
重量:318 kg
外观尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
zui小气压:24 in. Hg (70 kPa)
电源:110v/220v, 3.5 amps
光学器件:
照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
光源:白光LED(也可选其他)
物镜倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用户可选
工作台:
典型行程:200 mm,X和Y方向
定位:带有闭环编码器的线性伺服电机(分辨率为50 nm)
重复性:+/- 0.5 µm

行程平整度:30 µm

结构:精密地面滚道和交叉滚子轴承
支撑平台:显微镜/重型底座集成到隔离台中
中心负载能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
备选功能:
AFM原子力显微镜:可根据要求提供规格
SECS/GEM
透射光
自动传送晶圆片

如果您想了解关于这套型号为nSpec LS的晶圆缺陷检测光学系统更多的信息,请联系我们。

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