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自动光学检测系统_nSpec CPS

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称岱美仪器技术服务(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/7/8 9:37:59
  • 访问次数50
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??岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的*设备分销商。??在21世纪初期,岱美已从我们在中国香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。??我们的总部设在中国香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有*的业务。我们还在马来西亚,新加坡,中国台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。??我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的*设备与技术连接起来。岱美合作客户??岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:??晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。??如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。注:在大陆地区注册的公司名称为:岱美仪器技术服务(上海)有限公司,并有东莞分公司和北京办事处。
这个晶圆光学检测系统具有人工智能的自动检查功能
自动光学检测系统_nSpec CPS 产品信息

这个晶圆光学检测系统具有人工智能的自动检查功能。的图像处理AOI系统可提供可定制性和灵活性,以及可靠,高度可重复的结果。可以对AI增强的软件nTelligence进行培训,以使用nSpec®上的稀疏数据检测缺陷。一旦经过训练,就可以将算法导入到生产工具中,并且用户可以开始自动对感兴趣的缺陷和特征进行分类。该系统生成晶片上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。

无论用户对样品检验有什么具体要求,我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
nSpec®CPS 300mm自动光学检测系统是高度受控的洁净室环境的理想系统。该系统可按顺序运行多个扫描程序。用户友好的软件使配置配方变得毫不费力。而且,随着需求的发展,配方非常易于保存和修改。
1. 这种300毫米尺寸的设备支持:

  • HEPA空气过滤
  • 空气离子发生器
  • 自动加载端口
2. 产品特征
  • 晶圆自动处理
  • 可设置多种分辨率,范围从0.25 µm到更高
  • 快速扫描功能
  • 可定制的缺陷报告
  • 可设置单个图像捕获和扫描
  • 提供各种样品夹头,可满足特定需求
  • 对缺陷或感兴趣特征进行检测和分类的鲁棒分析
  • 拥有检查和审查程序
  • 能够多系统同步
  • 占地面积小,设施要求蕞少
  • 利用机架安装控件
  • 带有门联锁



晶圆缺陷检测光学系统 光学镜头.jpg
3. 系统基本参数
  • 重量:540公斤
  • 尺寸(宽x深x高):158cm x 173cm x 202cm
  • 蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
  • 电源:110v / 220v,30安培
4. 光学性能
  • 照明模式:明场,暗场,DIC(Nomarski)
  • 光源:白光LED(可用其他选项)
  • 物镜倍数:2.5、5、10、20或50x,用户可选
5. 光学平台
  • 行程:典型值为350 mm(X和Y方向)
  • 定位:使用闭环编码器,线性伺服电机(步进为50 nm)
  • 重复性:+/- 0.5 µm
  • 行程平整度:20 µm
  • 结构:施工精密地面滚道和高刚性直线导轨
  • 支撑平台:集成到隔离平台中
  • 带有橱柜系统
  • 中心负荷能力:5公斤
6. 备选功能
  • 可根据要求提供AFM
  • SECS / GEM OCR
  • 空气电离仪
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