TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制,自动 测量薄膜厚度和折射率,具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用 USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采 集及处理方式,适用于不同用户的需要。
规格参数
测量范围:薄膜厚度范围:1~300nm
折射率范围:1~10
入射角调节范围:20~90°
膜厚精度:±1nm
折射率重复精度:±0.01
外形尺寸/重量:590mm*390mm*290mm/25kg
主要配置
TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪主机
控制系统:电控箱
二氧化硅膜样片
配套专用测量分析软件

















