特点
能够同时测量厚度和折光率
高速 （<250 kHz） 和高精度 （<10 nm）
能够测量的基本材料种类多（玻璃、硅片等）
可在各种环境（表面条件、振动等）下进行测量
应用
测量涂层或者是镀层的厚度
参数
部分参数如下（T-Nova-850/1550TN）：
工作波长范围 | 750 纳米 - 950 纳米 / 1490 纳米 - 1610 纳米 |
厚度测量分辨率 | <10 nm，折射率：10-3 |
厚度测量范围（基于普通玻璃） | 6 微米 - 1.2 毫米 / 20 微米 - 3 毫米 |
测量速度 | 250 kHz / 40 kHz |
允许的测量角度 | <±5º |
测量原理 | 光谱干涉仪 |
标准 | 提供 KRISS 标准厚度试样 |
案例（ MIKS1_S）
清单
产品 | 工作波长范围 | 厚度测量分辨率 | 厚度测量范围 | 测量速度 |
（基于普通玻璃） | ||||
T-Nova-850/1550TN 系列 | 750 nm - 950 nm / 1490 nm - 1610 nm | <10 nm，折射率：10^-3 | 6 um - 1.2 mm / 20 um - 3 mm | 250 kHz / 40 kHz |
T-Nova-850/1550R | 750 nm - 950 nm / 1490 nm - 1610 nm | 10 nm（或 0.1 nm） | 400 nm - 1.2 mm / 2 um - 3 mm | 250 kHz / 40 kHz |
原厂介绍
Novitec在2012年成立于韩国，致力于视觉传感领域的研究。Novitec的厚度测量仪采用透射法进行厚度检测，能够实现同时测量厚度和折光率，可以高速 （<250 khz）="" 和高精度=""><10>
