英国Raptor Photonics公司的Eagle XV真空腔内X射线相机是专门为真空特殊工作环境设计的，可以直接放置在真空腔室内使用。相机采用了Teledyne e2v公司的背照式CCD芯片，百分之100的填充因子，可直接探测从真空紫外（极紫外）到软X-ray波段（12eV-20keV能量范围）。
主要特性
· 相机放置在真空腔室内使用
· 来自Teledyne e2v的背照式CCD芯片
· 可直接探测能量范围12eV-20keV
· 制冷温度-80℃，暗电流<0.0005e - /p/s
· 提供完整真空馈通的解决方案
· 真空度兼容性10 -5 至10 -8 mbar
典型应用
•x射线成像 •x射线显微镜 •薄膜和纳米纤维 •x射线等离子体诊断 •全息和光刻
>>X-ray衍射（XRD）
X-ray衍射是一种研究物质特性的技术，如大分子、晶体、粉末、 聚合物和纤维。 当X-ray穿过物质时，它们与原子中的电子相互作用，并分散开 来。如果原子是在平面上组织的（即物质是结晶的），并且原子之间 的距离与X-ray的波长大小相同，则会发生构造性和破坏性的干涉， 并形成衍射图案。根据所研究物质的种类，可以使用单色X-ray、粉 红束（窄带）X-ray或白束（宽带）X-ray。
>>EUV紫外光刻
半导体工业使用波长从 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已达到光刻技术的界限。认识到这 一限制，该行业在过去几年中一直在寻找一种潜在的后继技术，以生 产小于100nm的特性。半导体工业研究的下一代光刻技术包括超视 距光刻、X-ray光刻、离子束投影光刻和电子束投影光刻。尽管EUV 光刻技术也有其挑战，但它经常被使用，因为它保留了上述光刻技术 （波长13.5nm）的外观和感觉，以及使用了相同的基本设计工具。 因此，直接探测X-ray相机为光刻系统工作中提供了好的诊断 和监控手段。
>>XUV、软X射线及EUV光谱
美国McPherson Instruments公司的251MX平场光谱仪，采用新的120g/mm光栅和EA4710XO-BN相机，可以轻松实现XUV、软X射线及EUV光谱的测量。
Eagle XV – In Vacuum X-Ray
In Vacuum High Energy CCDs with a range of custom options
Introducing a high energy direct X-Ray In Vacuum version one of the most sensitive CCD cameras in the World. The Eagle XV is available in a range of options including sensor resolution, sensor type, cooling and feedthrough options – including trigger, liquid, power and CameraLink. This freedom of choice offers cameras to meet your exact needs.
The EAGLE XV camera features:
· Choice of sensors, BN-DD and BN – Select the best QE for your application
· Active / Passive cooling down to -80°C – Minimizing noise with Raptor cooling technology
· Compact platform for In-Vacuum operation – Ideal for OEM integration with vacuum pressure <= 10^-5 mbar
· Full range of Accessories – Including vacuum feedthroughs, cables, tubing etc
Optional Accessory | Part Number | Notes |
Power Feedthrough | RPL-PFC | 19-way hermetic bulkhead feedthrough; 3m, 19-way, in vacuum cable |
CameraLink Feedthrough | RPL-CLFC | MDR-MDR Feedthru Plate; Cameralink Cable 3m MDR to MDR |
KF40 Liquid Feedthrough | RPL-DN40KF-WFC | KF40 flange with 2-off ¼" pipes, terminated with swagelok fittings |
2.75" CF Liquid Feedthrough | RPL-DN40CF-WFC | 2.75" CF flange with 2-off ¼" pipes, terminated with swagelok fittings |
KF40 Trigger Feedthrough 2 SMAs | RPL-DN40KF-TFC | KF40 flange with 2-off female SMA to SMA feedthroughs; |
2.75" CF Trigger Feedthrough | RPL-DN40CF-TFC | 2.75" CF flange with 2-off female SMA to SMA feedthroughs; |
Air Side Water Tubing | RPL-WTUBE-XV | Includes tubing and connectors. Stainless Steel Hose Connector, 1/4 in. Tube Adapter, 1/4 in; 5mm ID Flexible PVC Tubing (2m length); |
EPIX EB1 frame grabber | RPL-EPIX-EB1 | |
EPIX XCAP Std software | RPL-XCAP-STD | |
CameraLink Cable (2m) | RPL-CL-CBL-2M | Longer Camera Link cable available. |
Mini PC with XCAP Std and frame grabber | RPL-PC-EL1 | |
Thermoelectric Water Chiller Unit | RPL-CHILLER | Recommended coolant flow rate >0.5l/min & cooling capacity >100W @ 20°C. |
产品参数：
型号 | EA4240XV-BN-CL -II |
芯片类型 | CCD |
有效像素 | 2048 x 2048 |
像素尺寸 | 13.5μm × 13.5μm |
光谱响应范围 | 12eV to 20keV |
图像阱深 | >80ke- (100Ke- typical) |
非线性 | 小于百分之一 |
暗电流@ -80˚C | - 0.016 e/p/s |
读出噪声（RMS） | 10e- @ 2MHz <3.5e- @ 75kHz |
积分时间 | Up to 60 mins |
帧频 | 2MHz / 75kHz |
读出模式 | Full 2D Image, Flexible Programmable Binning, ROI Selection |
触发模式 | Internal / External |
数据输出格式 | 16 bit base Camera Link |
同步方式 | Trigger IN and OUT - TTL compatible |
供电方式 | 12V DC ±0.1 |
总功耗 | <67W (TEC ON, Steady State) |
工作温度 | -20°C to +55°C |
存储温度 | -40°C to +70°C |
外形尺寸 | 155.08mm x 140.89mm x 110.00mm |
重量 | <1.5Kg |
典型应用
•x射线成像 •x射线显微镜 •薄膜和纳米纤维 •x射线等离子体诊断 •全息和光刻
>>X-ray衍射（XRD）
X-ray衍射是一种研究物质特性的技术，如大分子、晶体、粉末、 聚合物和纤维。 当X-ray穿过物质时，它们与原子中的电子相互作用，并分散开 来。如果原子是在平面上组织的（即物质是结晶的），并且原子之间 的距离与X-ray的波长大小相同，则会发生构造性和破坏性的干涉， 并形成衍射图案。根据所研究物质的种类，可以使用单色X-ray、粉 红束（窄带）X-ray或白束（宽带）X-ray。
>>EUV紫外光刻
半导体工业使用波长从 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源，其特征尺寸小于100nm，但已达到光刻技术的界限。认识到这 一限制，该行业在过去几年中一直在寻找一种潜在的后继技术，以生 产小于100nm的特性。半导体工业研究的下一代光刻技术包括超视 距光刻、X-ray光刻、离子束投影光刻和电子束投影光刻。尽管EUV 光刻技术也有其挑战，但它经常被使用，因为它保留了上述光刻技术 （波长13.5nm）的外观和感觉，以及使用了相同的基本设计工具。 因此，直接探测X-ray相机为光刻系统工作中提供了好的诊断 和监控手段。
>>XUV、软X射线及EUV光谱
美国McPherson Instruments公司的251MX平场光谱仪，采用新的120g/mm光栅和EA4710XO-BN相机，可以轻松实现XUV、软X射线及EUV光谱的测量。
Typical Uses:
X-ray imaging
X-ray microscopy
Thin films and nanofibers
X-ray plasma diagnostics
Holography andlithography
