名称（Name）
真空式等离子处理系统
型号（Model）
CRF-VPO-12L-S
控制系统（Control system）
PLC+触摸屏
电源（Power supply）
380V/AC,50/60Hz, 7kw
中频电源功率（RF Power）
1000W/40KHz/13.56MHz
容量（Volume ）
180L(Option)
层数（Electrode of plies ）
14(Option)
有效处理面积（Area）
490(L)*356(W)
气体通道（Gas）
两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2
外形（Appearance ）
钣金结构
产品特点
超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精准的控制设备运行；
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
应用范围
适用于印制线路板行业，半导体IC领域、等离子硅胶处理、塑胶处理、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污、软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、等离子刻蚀、活化。
(1)提高粉体的着色力，遮盖力和保色性，这在涂料或油漆中运用较多。用真空等离子处理粉体等离子体处理涂料或油漆中颜料使涂料、染料的这些表面性能提高。为提高某些颜料的遮盖力和着色力等，用-些性能较好的无机物质包覆之，如用氧化铝、二氧化硅包覆钛可改善一些性能。
(2)保护粉体的固有性能及保护环境。
我们知道活性炭有很强的吸附作用，而且吸附范围很广，用于保护一些化学装置及吸附一些有害的毒气。但正因为它的吸附范围很广，因此水也在被吸附之列。由于活性炭吸附水达到饱和状态时，活性炭的作用就减弱很多，因此用真空等离子体聚合一层膜，且这层膜具有憎水性，就可解决这一问题。
还有为了保护环境，对某些*的对健康有害的原料，如石棉，进行表面处理，用对人体无害和对环境不构成污染，又不影响其使用性能的其他化学物质覆盖，封闭其表面的活性点，从而保护了环境和人。
(3)使粉体具有缓释的作用
为了控制药效，达到使药物定时定量和定位释放的目的，新发展的药物胶囊就是用某种安全、无毒的薄膜材料，如丙烯酸树脂对药物进行包膜而制备的。
以上是改善粉体表面性能中的主要部分，还有很多性能可以通过等离子体处理来改善，这里就不--列举。
真空等离子处理粉体等离子体技术引人注目，随着等离子体技术的蓬勃发展，它必将越来越广泛地用于粉体材料的表面改性。真空等离子体技术对粉体材料表面改性的理论研究和应用研究将会更加广泛和深入。粉体材料的等离子体处理技术若能实现工业化，降低处理成本，将大大促进复合材料的发展。
