高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 产品图纸
■ 设备安装图
浚和（上海）仪器有限公司是一家供应仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供*的产品和专业的服务。浚和在不断引进仪器设备的同时，结合行业和市场需求，加强和客户之间的沟通，并与国际上多家仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系，不定期地与合作商进行技术交流，努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员，依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务，得到了广大用户的支持与信赖。公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。
YAMATO等离子清洗机V1000/1000X/1000XS RIE·DP模式、多段平行平板电极、大容量 产品信息
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