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TS-200/2000HP 功率器件在片测试系统

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产品型号TS-200/2000HP

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更新时间：2023-09-12 15:30:15浏览次数：133次

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上海德竹芯源科技有限公司

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商铺产品：157条

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产品简介

系统主要基于 Keysight B1505 功率器件分析仪器和 MPI 200mm 大功率探针台，MPI功率系列探针台是非常适用于实验室分析的手动和半自动功率探针台解决方案，支持电压高达 3kV（Trixial）/10kV（Coaxial），电流高达600A（探针），且支持外部编程控制，可与测试机协同完成自动化测试。两者协同工作，主要完成大功率SiC器件晶圆级IV特性和寄生电容特性在片测试，测试范围 3kV，可扩展 10kV，电流 300A，寄生电容测试偏压 ±3kV，可自动切换测试 SiC MOSFET 和 IGBT的输入电容，输出电容和米勒电容，满足客户对于SiC功率器件的测试。

详细介绍

● 兼容 8 寸及以内晶圆，可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圆

● 电压 3 kV，电流 130 A（后期可升级10 KV 500 A）

● 晶圆级三端垂直导电器件 SiC MOSFET（水平器件）

● 温度范围 -60℃ ~ 300℃

● 可进行 3 kV 高压偏置电容测量，全自动切换测试 Ciss，Coss，Crss，测试频率 100 kHz

● 支持探针和探卡两种针测方式

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