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山东大学集成电路学院本科生在抗液体干扰的超疏水传感器方面取得新进展
2025年05月06日 13:50:48来源:山东大学点击量:1043
导读随着人机交互和工业4.0技术的快速发展,柔性电容传感器已成为智能穿戴设备、人形机器人皮肤和工业自动化系统等领域的关键技术。
  【智慧城市网 企业关注】近日,山东大学集成电路学院/未来技术学院钱凯教授团队在柔性传感器领域取得新突破,成功开发出一种能有效解决液体干扰问题的超疏水电容传感器。相关研究成果以“Liquid Interference Mitigation in Capacitive Sensors Using Cassie-Baxter State based on Superhydrophobic Surfaces”为题,发表在国际期刊ACS Applied Electronic Materials(影响因子4.3)上。该论文第一作者为集成电路学院本科生肖易霏,共同通讯作者为集成电路学院卓优博士后戴子忆,山东大学集成电路学院为第一完成单位。
 

 
  随着人机交互和工业4.0技术的快速发展,柔性电容传感器已成为智能穿戴设备、人形机器人皮肤和工业自动化系统等领域的关键技术。然而,这些传感器面临一个根本性挑战:液体干扰。传统电容式传感器极易受外部液体干扰,水与传感器介电材料之间的巨大介电对比度(水约为80.4,常规介电材料接近1.0)导致信号严重失真。此外,在高湿度、有液体飞溅或腐蚀性环境等复杂现实场景中,传感器的可靠性大幅下降,限制了其在安全关键领域的应用。传统解决方案主要依赖封装技术,从物理层面隔离传感元件与环境。然而,这种方法不仅会牺牲传感器的柔性和灵敏度,增加生产成本和工艺复杂度,还难以解决长期使用中的液体渗透问题。一旦湿气通过表面微小缺陷渗入密封环境,临时干扰就会转变为持续的信号失真。本研究通过一种简便的喷涂策略,在电容传感器介电层表面涂覆改性二氧化硅纳米颗粒,成功实现了超疏水表面,使其接触角超过150°,滚动角低于10°。这种表面处理在传感器与液体之间形成了稳定的Cassie-Baxter状态,显著减少了液体与传感器的接触面积。该设计实现了两种高效的液体去除机制:主动去除机制(通过倾斜实现液滴快速脱离)和被动去除机制(通过传感器正常工作时的压缩-释放过程排出液体)。更重要的是,这种表面处理技术展现出了广谱的液体抵抗能力,能够有效应对从纯水到酸碱溶液、盐水,甚至各种日常饮料等不同液体。以圆顶阵列结构为例,该传感器具有可靠的压力传感性能,检测范围为0-3 MPa,在低压区(3.601×10-2kPa-1)具有较高的灵敏度。这种方法通过可穿戴运动检测,在潮湿环境、工业环境(包括包括酸,碱,盐雾暴露)条件下可以实现电容应变传感保持稳定,以及通过可靠的摩斯电码识别实现人机界面,已成功展示了实际应用。
 

 
  钱凯教授团队长期致力于智能柔性“感-存-算一体化”电子器件研究,涵盖忆阻器存储/类脑神经芯片、集成电路封装、透明可穿戴电极以及医疗健康监测等研究领域,此次突破为柔性电子器件在复杂环境中的应用开辟了新途径。
关键词 超疏水电容传感器
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