气体质量流量控制器 型号:KM12-C50
产品特点
安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号
0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)
气体质量流量控制器 型号:KM12-C50
流量规格1:（N2)产品特点
本产品具有响应时间短、标定精度和重复精度高等特点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号
0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)
流量规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
调节阀类型：常闭型
量程比：2-99%FS或者50:1
流量分辨率：0.1%FS
准确度：1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
线性：0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重复精度：0.2%FS
相应时间：小于2S
工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
MAX耐压：3MPA
工作环境：5-45度
电缆接头：DB15pin(针形）
输入输出信号：0-5V（输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA）
供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
对外单点泄漏
≤1X10 9Pa. m2/S (He)
介质接触材质
316，316L， 密封填料
密封材料
丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ,
氟橡胶FKM，氟橡胶FFKM，聚四氟乙烯PTFE
VCR型接头: 1/4"
管道接头尺寸
双卡套型接头: 1/8”、1/4"、3/8”或φ3、中6、φ8、φ10 mm
外形尺寸
长X宽X高: 127X30X 100 mm
净重量
0.88kg
