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FC-R7800CD质量流量控制器

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市万德泉科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2026/6/18 12:14:59
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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。
FC-R7800系列不仅能提供高精度流量控制
FC-R7800CD质量流量控制器 产品信息

FC-R7800系列不仅能提供高精度流量控制。
采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE独特电气信号可选方案,可方便对用户使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。

特点:

高精度

高信赖和可靠性

耐腐蚀设计

采用金属密封材质

VCRSwagelok互换的气路接口

10SCCM200SLM满量程范围

方便的互换性

高速应答优秀的统一性,目前世界上有大约7万只在运行中的产品,内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉 

方便的互换性

 
技术参数:

性能指标

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

 

FC-R7810CD/FC-R7810D系列

 

FC-R7820CD/FC-R7820D系列

 

满量程范围

 

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

响应时间

满流量的±2%范围内,小于2

满流量的±2%范围内,小于3

精度

≤±1%满量程

≤±2%满量程

线性镀

满量程±0 5%

满量程±0 5% 1

满量程±1%

重复性

                          ≤满量程±0.2%

泄漏率

                            1X10E-11 Pa.m ³/sec

控制范围

                          满流量的2%-5%  #2

压差

49Kpa-275Kpa

 

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

 

正常工作压

                           490Kpa

 

进气压力

                           980Kpa

 

温度范围

 

                           5-45(41-113)

 

输入电源

 

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

输入信号

0-5 VDC

输出型号

0-5 VDC

控制阀形式

常开或常闭电磁阀

密封件

金属密封

材质

316L316PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶)

标准接口

1/4"VCRSwagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

1满量程流量值大于30SLM线性度满量程±1%

2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-99%

3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa

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