激光椭偏仪：PH-LE

                 
 

     多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有的精确度和准确度。
 
 产品特点：
 ■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片
 ■ 可以测量抛光片，精确度和准确度
 ■ 可以测量粗糙表面的“绒片”
 ■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
 ■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
 ■ 配置有高稳定度补偿器，提供最小的漂移值和最小的测量误差
 ■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜
 ■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量
 
 测量特点：
 ■ 非破环性检测
 ■ 样品准直简单方便
 ■ 测量速度快
 ■ 可变入射角范围宽
 ■ 测量
 ■ 软件分析功能强
 
 技术指标：
 ■ 光源：He-Ne激光器
 ■ 光斑直径：1-2mm
 ■ 入射角范围：20°到90°,5°/步
 ■ 精度：0.002°~ 0.02°
 ■ 膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
 ■ 折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
 ■ 激光光斑：直径1mm
 ■ 激光波长632.8 nm
 

 典型客户：
 美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。