| 规格 | 技术指标 |
| 衬底类型 | 透明或半透明衬底 |
| 光源 | 氙灯 |
| 光源寿命 | >8760H |
| 光谱范围 | 300-1000nm |
| 入射角 | 70度（40度-90度 每5度可调） |
| 光斑直径 | 100x120μm(Min80x100um) |
| 测量时间（不对焦） | <2S(单层模型),<约6s（多层模型） |
| 膜厚测量范围（单层膜） | 1nm-15μm |
| 对焦 | 自动讯号对焦 |
| 膜厚测量精度 | <0.5nm(基于标片) |
| 折射率测量精度 | <0.005(基于标片) |
| 厚度重复性精度： | <0.5A（1 sigma 标准差,10times）（基于标准片） |
| 折射率重复性精度： | <0.0005（1 sigma标准差,10times）（基于标准片） |
| 可测试膜层数量 | ≥2层 |
| 标片数量 | 2片 |
秉持公司?诚信·负责·和谐?经营宗旨诚恳的为客户提供*的技术和售后服务。质朋仪器公司感谢各界给予支持与厚爱，不断成长与进步，2010年四月一日正式成立华南技术服务中心－东莞办事处、2013年华南技术服务中心搬迁深圳，并更名深圳事务所，更于2013年七月一日接继设立成都、北京事务所，2014年四月一日成立重庆事务所，2017年5月成立厦门事务所，2020年成立武汉事务所。旨在于透过增加服务据点，面向客户，可以提供更为快捷、更为便利的专业技术支持服务，满足客户的需求。2015年质朋仪器公司与日本三鷹光器株式会社携手合作，代理三鷹光器公司非接触式三次元测定装置在中国地区的销售业务并提供售后服务。三鷹光器株式会社成立于1966年，其点自动对焦测定装置高速、便捷的测定方法广泛应用于超精密加工厂家、电子元件、光学元件和其他工业领域。2008年，三鹰光器的非接触式测量原理，被纳入ISO 25178-6面领域表面纹理分类方法中的“自动对焦分析”。基于公司多年在半导体行业取得的佳绩及良好的服务宗旨，2018年质朋仪器公司与德国Nanofocus AG公司达成协议，成为Nanofocus AG公司半导体部门在中国地区的合法代理，坚持“竭诚服务”的原则，为广大新老客户继续提供优质的技术服务。Nanofocus公司成立于1994年，专精于非接触式光学共聚焦测量技术，可实现线上，线下的高速测量，对应IC制造、封装领域不同材料和式样的测量需求，可实现一次测量获得多种测量结果，提高产线良率、节约生产成本。
Radiation 全光谱椭偏仪 产品信息
