| 设备名称 | 小型程序控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1.科晶实验室邀请提示 2.图片未及时更新提示 3.多种配件可选提示 |
| 主要特点 | ·直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。 ·安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜更加均匀。 ·样品台和蒸发源之间的距离可以调节 ·气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验。 |
| 相关视频 | 安装操作视频 操作视频 |
| 基本参数 | ·控温方式：手动控温/程序控温 ·控温精度：+/-1℃ ·腔体真空度：5*10^-3Pa（表压只能显示到 1*10^-1Pa） ·样品室：石英腔体：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H ·基片：可装载基片尺寸为 50mm ·输出电压：DC 18V ·输出电流：≤ 40A ·输入电源：AC220V/50HZ ·输入功率：＜500W 更多参数请联系科晶销售部 |
| 温控及加热源 | ·采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。（图1） ·采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃）（图2） ·可选B型热电偶（工作温度为1200℃-1700℃） ·安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（图3） ·温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） ·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚（图4、图5） 图1 图2 图3 图4 图5 |
| 进气口 | ·进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜 ·进气口安装有一针阀，用于调节进气流量 |
| 尺寸 | ·L440mmx W330mm x H630mm |
| 重量 | 40 kg |
| 认证 | ·所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
| 质保 | 一年质保期，终生维护 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
北京壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托，靠服务求生存”的宗旨，进行科学管理，不仅为客户提供高品质的分析仪器，更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品，专业技术支持，到*的售后服务，令所有的客户称心满意。
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公司在电化学领域，依托与北京理工大学环境能源中心，不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。
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小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2 产品信息
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