| 设备名称 | 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉--OTF-1200X-RTP-II-5-R （2019.10.24--科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1.科晶实验室邀请提示 2.图片未及时更新提示 3.多种配件可选提示 4.危险设备操作提示 |
| 主要特点 | ·快速升温，达10℃/s。 ·温度可达800℃。 ·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温。 ·两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制。 ·顶部载样台可旋转。 |
| 基本参数 | ·工作温度：800℃，两个加热区之间的温差为300℃ ·升温速率：10 ℃/s ·冷却速率：>10 ℃/s（800-300℃） ·真空度：20Pa（机械泵），10E-1Pa（分子泵） ·控温精度：+/-0.1℃（欧陆表） ·加热元件：红外灯管 ·功率：10KW(>50A保险) ·热电偶：K热电偶 ·超温和断偶保护 ·设备电源：AC220V/50HZ 单相 更多参数请联系科晶销售部 |
| 加热元件和载样台 | ·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部 ·两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制） ·顶部载样台转速可调，0-10 r/min（触摸屏控制） ·为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作） ·采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性 |
| 真空法兰 | ·真空法兰为316不锈钢制作 ·顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）： 一机械压力表 一KF16接口，可以安装防腐真空计 两个不锈钢精密针阀用于气体的进出 ·底部法兰： 一KF25接口，可以与真空泵相连接 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封 |
| 尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm |
| 认证 | ·CE认证 ·UL/MET/CSA认证可根据要求提供，额外费用将适用。 ·温度控制器是MET和CE认证的。 |
| 质保 | 一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管） |
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5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉OTF-1200X-RTP-II-5-R 产品信息
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