F30 在线膜厚测试仪

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公司名称上海纳腾仪器有限公司
品牌
型号F30
所在地上海
厂商性质其他
更新时间2025/5/13 9:51:53
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公司介绍主营产品

上海纳腾仪器有限公司是一家专注于为微纳米科学领域提供综合性解决方案，为

全国各大高校、科研院所及企事业单位提供*的微纳米科学仪器。

目前上海纳腾已成为国内少数几家专业提供微纳米科学仪器的企业，在微纳加工仪器，微纳表征仪器，微纳仪器耗材，微纳加工测试等相关领域，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售中、售后的服务。

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F30 在线膜厚测试仪产品信息

一、简介

KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量，其测量范围从nm-mm，可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量，被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品，可测量从几mm到450mm大小的样品，薄膜厚度测量范围1nm到mm级。Filmetrics F30 系列的产品通过光谱反射率系统，实时在金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延（MBE）和其他沉积工艺中测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性，被测量的薄膜可以是平滑和半透明的，或轻度吸收的 F30可检测监控反射率、厚度和沉积率通过分子束外延和金属有机化学气相沉积技术，测量薄膜。这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料.

测量原理-光谱反射

光谱椭圆偏振仪 (SE) 和光谱反射仪 (SR) 都是利用分析反射光确定电介质，半导体，和金属薄膜的厚度和折射率。两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从薄膜反射的光, 而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。光谱反射仪测量的是垂直光，它忽略偏振效应（绝大多数薄膜都是旋转对称）。因为不涉及任何移动设备，光谱反射仪成为简单低成本的仪器。光谱反射仪可以很容易整合加入更强大透光率分析。光谱反射仪通常是薄膜厚度超过10um的，而椭偏仪侧重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之间，两种技术都可用。而且具有快速，简便，成本低特点的光谱反射仪通常是更好的选择。