苏州中科科美科技有限公司（简称苏州科美），是北京中科科美科技股份有限公司全资子公司，系所属企业，传承科学仪器研制中心60多年的真空装备制造经验，是一家集设备研发、设计、制造、销售服务于一体的。
为响应中科科仪集团投资建设苏州仪器装备产业园、推进中科院装备关键核心研制技术开发、加速科学仪器装备与核心零部件创新成果产业化的战略部署，苏州科美落户苏州科技城，重点发展以检漏技术为核心的检漏工程业务，实现规模化发展。充分发挥本地化优势，开发华东、华中、华南真空应用市场，加速推进真空装备产业化进程。
苏州中科科美致力于为用户提供量身定制真空系统解决方案及技术咨询服务，产品包含真空氦检漏系统、超高真空排气台、空间模拟设备、真空存储柜、真空炉、真空充油机等各类非标定制设备。产品广泛应用于汽车制造、电力系统、半导体、科研系统等众多领域。
公司以客户为中心，建立了完善的质量体系，全面实施精益化管理，以优秀的产品和服务，为客户创造价值。科美公司致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！
应用领域
磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。
可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。
主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
该设备用于制备导电薄膜、光波导薄膜、光学薄膜等。广泛应用于大专院校、科研机构。
技术参数
1．极限真空压力:5×10-5Pa；
2．靶直径(mm): Φ50轴向移动20；
3．靶单位面积功率:(W/cm2)15～20；
4．靶电源功率(W):DC1000W—RF500W；
5．基片加热温度:0～500℃可控;
6．恢复真空抽气时间(分):从大气至5×10-4Pa＜20;
7．靶功率(W):600;
8．基片沉积率(nm/s)(AL):3;
9．气体流量:0～300SLM。
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