序号
内容
主机仪器架# 大理石工作台面# 高精密气浮主轴# 气浮立柱系统# 横导轨移动装置# 调心调平工作台（台面直径Ф150mm、台面高度50mm；调整范围：调偏心±2mm ; 调水平±1°）# 精密三爪卡盘（外尺寸装夹范围：Ф1 mm ~~Ф81mm；内尺寸装夹范围：Ф31 mm ~~~Ф70 mm）# 空气过滤系统# 电器控制系统# 圆光栅编码器# 电感传感器# Ф1x10mm# Ф2x10mm# 工业控制计算机# HP喷墨打印机# 测量软件# 椭圆标准件# 圆柱标准器# 使用说明书# 产品保修卡# 产品装箱单# 合格证# 设备验收单# 工具箱
项目 | 参数 | |
测量范围 | 直径 | ф300mm |
最小内径 | ф3mm | |
高度 | 420mm | |
主轴精度 | 径向误差 | ±(0.025+5H/10000)μm |
轴向误差 | ±(0.025+6X/10000)μm | |
回转轴线与Z轴导轨平行度 | 2μm/300mm（母线基准） | |
工作台 | 台面直径 | φ160mm |
回转直径 | φ320mm | |
承载重量 | 30Kg | |
调整范围 | 调偏心±2mm ; 调水平±1° | |
旋转速度 | 0-12 rpm（可调） | |
立柱 | 直线度（窄范围） | 0.5μm /100mm |
直线度（全范围） | 0.8μm /300mm | |
水平臂 | 水平移动距离 | 160mm |
移动速度 | 0.5-6mm/s 或手动 | |
传感器 | 量程 | 500μm (半径差) |
分辨率 | 0.005μm | |
测针形状 | 红宝石球测头（直径2mm） | |
传感器方向/调整角度 | 双方向/±45° | |
数据采集 | 进口光栅7200点/周 | |
放大倍率 | 任意至20万倍 | |
