主机仪器架# 大理石工作台面# 高精密气浮主轴# 大理石立柱系统# 横导轨移动装置# 调心调平工作台# 精密三爪卡盘# 空气过滤系统# 电器控制系统# 圆光栅编码器# 电感传感器# 电脑# HP喷墨打印机# 测量软件# 标准玻璃半球# 椭圆标准件
项目 Item | 参数 Parameter | |
测量范围 measuring range | 直径 Max. dia. | ф220mm |
| 最小内径 Min. inner dia. | ф3mm |
| 高度 Max height | 350mm |
主轴精度 Spindle accuracy | 径向误差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
| 轴向误差 Axial error | ±(0.02+6X/10000)μm |
工作台 Workbench | 台面直径Table dia. | φ160mm |
| 回转直径Rotation dia. | φ300mm |
| 承载重量Load Wt. | 30Kg |
| 调整范围 Adjustment range | 调偏心±2mm ; 调水平±1° Adjust the eccentricity ±2mm; adjust the level ±1° |
| 旋转速度Rotation Speed | 0-12 rpm |
水平臂 Horizontal arm | 水平移动距离 Horizontal moving distance | 150mm |
| 移动速度Moving speed | 0.5-6mm/s 或手动 0.5-6mm/s or manual |
传感器 sensor | 量程range | 500μm (半径差) 500μm (radius difference) |
| 分辨率Resolution | 0.005μm |
| 测针形状 Stylus shape | φ2mm宝石球测头（有更多直径可选择） φ2mmRuby tip (φ1mm、φ0.5mmoptional) |
| 测力 Meas. force | 1-12g |
数据采集 Data acquisition | 进口光栅7200点/周 Imported grating7200 points/cycle | |
放大倍率 Magnification | 任意至20万倍 Arbitrary to maximum 200,000 times | |
