光强均匀、频谱稳定
美能Poly5000在线膜厚测试仪采用钨卤素灯，有效光谱范围320nm~2400nm，发射出连续光谱，涵盖了从紫外线到红外线的所有光波段。一台机器覆盖多台机器的测量范围，保证测试结果的准确性。
毫秒级别采样速度
美能Poly5000光谱仪专门针对光伏应用客户设计并开发，光谱范围300~1100nm，光斑70μm，适用光伏行业的测试环境及条件。配合美能的光谱拟合法，最终拟合获得薄膜厚度和光学常数，实现超广测量范围20nm~2000nm和0.5nm的超高重复性精度。
全新智能地操作体验
美能Smart Poly操作软件，快速、智能且易于使用。使用直观且用户友好的独立PC程序无需用户自己编写任何代码即可快速表征材料。操作软件确保准确的结果，以便对材料进行广泛的电气表征。
Poly膜厚在线监控
•99%Poly-si沉积工艺监控，提高产品良率
•非接触、无损测量，零碎片率，保证生产效率
•提高产线自动化生产水平，机器自动测试代替人工离线测试，节约人力成本
•测试速度快，单片测试时间＜0.5s
•膜厚重复性测量精度：＜0.5nm（100次连续测试）
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 光谱范围 | 300nm~1100nm |
| Poly膜厚测试范围 | 20nm~2000nm |
| Poly膜厚测试精度 | ±1nm |
| Poly膜厚测试重复性 | 0.5nm（单点静态100次测试标准偏差） |
| 测试速度 | ＜0.5s/5点 |
| 测试点数 | 5点（5点测试具体方位：中心点位上下左右间隔60nm） |
