出色的重复性和再现性
(1)单拱龙门式设计，结构稳定性优异，大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。；
(2)线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。;
超微力恒力传感器：1-50mg可调
的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。
超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。
全自动XY载物台，Z轴自动升降、360°全自动θ转台
精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整，提高测量效率。
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 技术测量 | 探针式表面轮廓测量技术 |
| 样品观测 | 光学导航摄像头：500万像素高分辨率彩色摄像机，FoV，1700*1400μm |
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 |
| 测量力 | 1-50mg可调 |
| 探针选型 | 探针曲率半径2μm，夹角60° |
| Z轴测量重复性 | ＜0.5% 在环境温度20 ±2 °C下用50X物镜测量4.7um标准台阶样块 |
| 平台移动范围X/Y | 电动X/Y（100mm*100mm）（可手动校平） |
| 样品R-θ载物台 | 电动，360°连续旋转 |
| 单次扫描长度 | 55mm |
| 样品厚度 | 50mm |
| 载物台晶圆尺寸 | 150mm（6时），200mm（8时） |
| 台阶高度重复性 | ＜1nm（测量1μm台阶高度，1δ） |
| 传感器量程 | 330μm |
| 垂直分辨力 | 分辨力＜0.25 Å（量程为13um时） |
| 扫描速度 | 2μm/s-10mm/s |
| 仪器电源 | 100-240 VAC，50/60 Hz |
| 使用环境 | 相对湿度：湿度（无凝结）30-40% RH 温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃) 地面振动：6.35μm/s（1-100Hz） 音频噪音：≤80dB 空气层流：≤0.508 m/s（向下流动） |
| 尺寸和重量 | 长×宽×高: 640*626*534(mm) 仪器总重量：<50kg |
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