的灵活性
650系列过程控制器采用强大的微处理器，并使用随附的 PC 软件（以面向对象的编程语言编写），在过程定义和使用方面实现了几乎的灵活性。该控制器允许操作员在过程执行期间实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。
内碗设计消除回溅
封闭的碗设计，加上过程控制器的精度，允许大多数涂料在静止状态下干燥，提高均匀性并大大限度地减少颗粒污染。上部增压室在底座内部关闭以提供重叠密封，盖子内侧有一个特殊的排水沟，可将流体引导至系统后部，以防止化学品意外滴落到基板上。
免受化学污染
专有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。这种密封为工艺室提供了氮气吹扫，并且在现场测试期间已被证明在亚微米水平上无颗粒。该系统的盖子具有耐化学性，并且在整个系统的某些非润湿区域仅使用了ECTFE涂层的 316 不锈钢螺钉。
既实用又方便
系统可以并且将会通过可下载的固件版本在现场轻松快速地持续更新。
•智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全
•防腐装置
•设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护
•通信接口，蓝牙连接
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 腔体尺寸 | 9. 5英寸（241毫米） |
| Wafer芯片尺寸 | 10-150mm直径的材料，方片125x125mm |
| 转动速度 | 0-12, 000rpm |
| 旋涂加速度 | 0-12, 000rpm/sec |
| 马达旋涂转速 | 稳定性能误差＜±1% |
| 转速调节精度 | ＜0. 2rpm,重复性＜0. 2rpm |
| 工艺时间设定 | 1-5999. 9 sec/step 0. 1 精度 |
| 匀胶机材质 | NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性 |
| 高精度数码控制器 | PLC控制，设置点精度小于0. 006% |
| 分辨率 | 小于0. 5转／分，可重复性小于±0. 5转／分 |
