日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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在美能光伏，我们涵盖太阳能光伏的整个产业链：从机理研究到组件以及发电厂的质量保证。我们的研发范围旨在与行业合作，促进在市场上推出新的创新产品。我们的目标是降低制造成本并支持中国光伏产业参与国际竞争。

高灵敏度光谱仪

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪，可以获得高稳定的束流。通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列产品信息

超高分辨率冷场发射

为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍

•沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪

•采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的优质性能

•(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

•采用污染小、高真空样品仓

•运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度

项目	内容
二次电子分辨率	Regulus 8100：0.7 nm（加速电压15 kV）；0.8 nm（着陆电压1 kV） Regulus 8220/8230/8240：0.6 nm（加速电压 15 kV）；0.7 nm（着陆电压 1 kV）
着陆电压	Regulus 8100：0.1～2 kV Regulus 8220/8230/8240：0.01～20 kV
放大倍率	Regulus 8100：20～1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240：20～2,000,000倍
样品台控制	Regulus 8100：3轴马达台（可选5轴马达台） Regulus 8220/8230/8240：5轴马达驱动