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DTN系列 高温氮气烘箱

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  • 公司名称上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号DTN系列
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/9/13 8:53:47
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
无线电综合测试仪
洁净度100级、氧浓度低于 20ppm 的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
DTN系列 高温氮气烘箱 产品信息

采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤

高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低

通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响

可实现快速升温和降温,升降温速率可调节

标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收

液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式

拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置

工作温度 360℃ 和 500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等


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