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日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

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具体成交价以合同协议为准

公司名称诺赛德自动化设备（苏州）有限公司
品牌
型号
所在地苏州市
厂商性质其他
更新时间2023/7/20 11:01:02
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公司介绍主营产品

诺赛德自动化设备（苏州）有限公司专注于进口品牌测量仪器销售和服务的公司，自创办以来，一直致力于与行业内享有盛名的品牌合作，为客户提供全面的进口品质测量解决方案。诺赛德自动化设备（苏州）有限公司已形成以日立扫描电镜、日立原子力显微镜、美国ZYGO白光干涉仪、美国KLA膜厚台阶仪、海克斯康影像仪等为代表的进口实验室设备的产品结构。作为实验室解决方案与精密测量的专业服务商，诺赛德自动化设备（苏州）有限公司提供售前诊断、产品销售及售后技术支持，目前服务的客户500多家，主要涵盖半导体元器件、材料、电子、院校、汽车、模具、机械、航天航空、、塑胶行业。诺赛德自动化设备（苏州）有限公司汇聚世界测量品牌，集聚一批优秀的管理销售人员，诺赛德自动化设备（苏州）有限公司把世界各品牌的仪器带到中国来，为推动中国科技的发展架起桥梁。进口品质测量解决方案作为实验室解决方案与精密测量的专业服务商，诺赛德自动化设备（苏州）有限公司提供售前诊断、产品销售及售后技术支持，目前服务的客户500多家，主要涵盖半导体元器件、材料、电子、院校、汽车、模具、机械、航天航空、、塑胶等行业。产品结构专业化覆盖性广的经营网络和专业化的营销团队，以开放的态度与国内外厂家进行合作，以日立扫描电镜、日立原子力显微镜、美国ZYGO白光干涉仪、美国KLA膜厚台阶仪、海克斯康影像仪等为代表的进口实验室设备的产品结构。

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光学轮廓仪

产品简介在线询价

产品介绍现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

日立超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列产品信息

产品介绍：

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的性能。

*1 Regulus8240/8230/8220

产品特点：

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

*2 Regulus8240/8230/8220

产品规格：

项目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次电子分辨率			0.7 nm （加速电压15 kV）	0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3
			0.8 nm （着陆电压1 kV）*3
着陆电压			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
样品台	样品台控制		3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
	移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再现性		-	-	-	±0.5 µm以下含
						±0.5 µm