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日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称诺赛德自动化设备(苏州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地苏州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/20 10:59:15
  • 访问次数204
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诺赛德自动化设备(苏州)有限公司专注于进口品牌测量仪器销售和服务的公司,自创办以来,一直致力于与行业内享有盛名的品牌合作,为客户提供全面的进口品质测量解决方案。 诺赛德自动化设备(苏州)有限公司已形成以日立扫描电镜、日立原子力显微镜、美国ZYGO白光干涉仪、美国KLA膜厚台阶仪、海克斯康影像仪等为代表的进口实验室设备的产品结构。 作为实验室解决方案与精密测量的专业服务商,诺赛德自动化设备(苏州)有限公司提供售前诊断、产品销售及售后技术支持,目前服务的客户500多家,主要涵盖半导体元器件、材料、电子、院校、汽车、模具、机械、航天航空、、塑胶行业。 诺赛德自动化设备(苏州)有限公司汇聚世界测量品牌,集聚一批优秀的管理销售人员,诺赛德自动化设备(苏州)有限公司把世界各品牌的仪器带到中国来,为推动中国科技的发展架起桥梁。进口品质测量解决方案作为实验室解决方案与精密测量的专业服务商,诺赛德自动化设备(苏州)有限公司提供售前诊断、产品销售及售后技术支持,目前服务的客户500多家,主要涵盖半导体元器件、材料、电子、院校、汽车、模具、机械、航天航空、、塑胶等行业。产品结构专业化覆盖性广的经营网络和专业化的营销团队,以开放的态度与国内外厂家进行合作,以日立扫描电镜、日立原子力显微镜、美国ZYGO白光干涉仪、美国KLA膜厚台阶仪、海克斯康影像仪等为代表的进口实验室设备的产品结构。
光学轮廓仪
产品介绍 创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
日立 热场式场发射扫描电镜 SU5000 产品信息


产品介绍:


创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。


产品特点:


高性能电子光学系统



  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*

  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 的低加速电压性能,低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异:


  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*

  • 开仓室快速简单换样(样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

产品规格:


项目内容
分辨率1.2nm @ 30 kV
3.0nm @ 1 kV
2.0nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 -600,000×(底片倍率),18-1,000,000×(800×600 像素)
30-1,500,000×(1,280×960像素)
电子光学系统电子枪ZrO/W 肖特基式电子枪
加速电压0.5-30kV(0.1kV步进)
着陆电压减速模式:0.1-2.0kV*1
束流>200 nA
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围:10-300Pa
马达台
马达台控制5-轴自动(优中心)
可动范围
X:0~100mm
Y:0 ~ 50mm
Z:3 ~ 65mm
T:-20 ~ 90°
R:360°
样品尺寸直径:200mm
高度:80mm
选配探测器
  • 高分辨率顶位二次电子探测器*1

  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)

  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

  • 能谱仪 (EDS)

  • 波谱仪 (WDS)

  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)


*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)

*3:空压机(本地采购)


应用实例:



样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像



样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像


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