SPS(POLOS)单点测量便携式FR测量仪
单点测量
小型化解决方案，用于精确无损测量透明和半透明单层薄膜或薄膜叠层的厚度。保证高度精确和可重复的测量。
产品说明
FR-pOrtable是一种小型化交钥匙解决方案，用于透明和半透明单层薄膜或薄膜叠层的精确无损光学表征。使用FR-pOrtable，用户可以在350-1000 nm光谱范围内对薄膜进行反射率测量。
FR-pOrtable的紧凑尺寸和定制设计的反射探头保证了高度精确和可重复的测量。
FR-pOrtable既可以安装在所提供的载物台上，也可以轻松转换为手持式厚度测量工具，放置在待测样品上。FR-pOrtable是现场应用的光学表征工具。
特征
厚度测量范围:12纳米到90微米
折光率(n & k)计算
宽光谱范围:380纳米–1020纳米
USB供电
轻便的
反射、透射、吸收和颜色参数
配件
现场适配器:用于需要时的测量
透射模块:用于测量涂层的透射和吸收光谱、涂层厚度等。
手动X-Y载物台:用于在多个位置表征涂层(手动移动)
应用程序
大学和研究实验室
半导体(氧化物、氮化物、硅、抗蚀剂等。)
生命科学
MEMS器件(光刻胶、硅膜等。)
发光二极管
数据存储
弯曲基底上的硬/软涂层
聚合物涂层、粘合剂等。
生物医学(聚对二甲苯、气球壁厚等。)
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操作原理
白光反射光谱(WLRS)测量在一定波长范围内从薄膜或多层叠堆反射的光量，入射光垂直于样品表面。
由界面干涉产生的测量反射光谱用于确定厚度、光学常数(n & k)等。自立式和支撑式(在透明或部分/反射的基底上)薄膜叠层。
SPS(POLOS)单点测量便携式FR测量仪
