Physik Instrumente PI高分辨率线性执行器
M-230 高分辨率线性执行器，带直流和步进电机
非旋转，限位开关
· 小增量运动 0.05 μm
· 行程范围 10 和 25 mm
· 非旋转端件
· 速度可达 1.2 毫米/秒
· 平均*时间 >20000 h
精密级线性驱动
高分辨率线性执行器。位置控制直流电机带有齿轮箱和高分辨率旋转编码器，可实现增量运动，重复性仅为100 nm。带齿轮箱的低振动两相步进电机可实现平稳准确的开环定位。
Physik Instrumente PI高分辨率线性执行器
应用领域
精密对准，千分尺螺钉的电动替代品。
高品质组件
极低摩擦和无间隙结构。用于均匀运动的非旋转端件可以防止接触点的摆动、扭矩和磨损。包括扁平和球形端件，用于解耦侧向和倾斜力。非接触式限位开关可以保护机械系统。带差分编码器驱动器的闭环变体，可在远 10 m 的距离内实现安全位置信号传输。
M-232 带直流电机的高分辨率线性执行器
折叠驱动结构紧凑
· 行程范围 17 mm
· 小增量运动 0.1 μm
· 速度可达 1.5 毫米/秒
· 闭环直流电机
· 平均故障时间 >5000 小时
紧凑型精密级线性驱动
高分辨率线性执行器，直流电机。折叠式驱动装置设计紧凑。旋转端件，旋转推杆。位置控制直流电机，带齿轮箱和高分辨率旋转编码器，可实现增量运动，重复精度仅为 100 nm
适合M-105微翻译阶段。
应用领域
精确对准，电动替代千分尺螺钉。
高品质组件
极低摩擦和无间隙结构。非接触式限位开关可保护机械系统。带差分编码器驱动器的闭环变体，可在远 10 m 的距离内实现安全位置信号传输
