PI闭环线性执行器Physik Instrumente
精密丝杠外加执行器、闭环伺服和步进电机驱动
M-230 高分辨率线性执行器,带直流和步进电机
非旋转,限位开关
· 小增量运动 0.05 μm
· 行程范围 10 和 25 mm
· 非旋转端件
· 速度可达 1.2 毫米/秒
· 平均*时间 >20000 h
M-232 带直流电机的高分辨率线性执行器
折叠驱动结构紧凑
· 行程范围 17 mm
· 小增量运动 0.1 μm
· 速度可达 1.5 毫米/秒
· 闭环直流电机
· 平均故障时间 >5000 小时
M-227 高分辨率直流电机线性执行器
带可选压电驱动器
· 小增量运动 0.05 μm
· 非旋转端件
· 亚纳米级分辨率,带可选压电驱动
M-228 • M-229 高分辨率线性执行器,带步进电机
结构紧凑,特别便宜
· 行程范围 10 和 25 mm
· 高负载能力 80 N
· 分辨率 0.36 nm,带齿轮箱版本
· 速度可达 4 毫米/秒
· 直接驱动版本包括手轮
· 非接触式限位和参考开关
PI闭环线性执行器Physik Instrumente