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倾斜检测主要标准：偏置稳定度、失调温漂、低噪声、可重复性、振动校正、跨轴灵敏度。对MEMS电容式加速度计而言，精确的倾斜检测是一种要求颇高的应用，尤其是在有振动的情况下。在动态环境中利用MEMS电容式加速度计实现0.1°的倾斜精度非常困难——1°较易实现。为使加速度计有效测量倾斜度，必须对传感器性能和终端应用环境有很好的了解。相比于动态环境，静态环境对倾斜测量更加有利，因为振动或冲击可能会破坏倾斜数据，引起严重测量误差。倾斜测量的重要特性有温度系数失调、迟滞、低噪声、短期/*稳定性、可重复性和良好的振动校正。
0g偏置精度、焊接引起的0g偏置漂移、PCB外壳对准引起的0g偏置漂移、0g偏置温度系数、灵敏准确度和温度系数、非线性度以及跨轴灵敏度等误差，是可以观测到的，并且可以通过装配后校准流程加以降低。迟滞、使用寿命期间的0g偏置漂移、使用寿命期间的灵敏度漂移、潮湿引起的0g漂移，以及温度随时间变化引起的PCB弯曲和扭转等等，这些误差项无法通过校准或其他方法解决，需要通过一定程度的原位维修才能减少。
