SF6气体微水仪是现代化、高水平、智能型的测量仪器。它无论从测量原理、自动化程度、使用的方便性而言都比同类仪器更有优势，特别是采用了欧洲标准技术，确保数据准确可靠。
SF6气体微水仪采用了单片机技术，仪器实现了露点、PPmV、绝对湿度等单位间的自动转换，无需人工查表换算。该仪器的电路部分可靠，为了适用于野外作业需要，仪器采用了交直流两用，自带的电池可连续工作20个小时以上，拓宽了使用范围，方便了用户。
SF6气体微水仪采用英国ALPHA公司传感器技术，它采用DRYCAP-薄膜传感技术，复和薄膜湿敏材料。聚酯薄膜式的探头，抗冷凝、抗灰尘颗粒、不受汽油和大多数气体影响。
SF6气体微水仪是采用阻容法原理，通过电容型高分子薄膜湿度传感器，具有准确度高、重复性好、漂移小等优点。
对于SF6气体湿度的测量，常用的方法有镜面法、重量法、库仑电解法、电容法等。
镜面法、重量法对环境条件要求比较高，测量的时间长，怕污染等，一般只用作仲裁分析；库仑电解法测量时耗气量较大、怕污染，测量的时间长等，使用时设备要提前一天通电通气干燥，而且重复性差。电容法是采用最多的方法，因为它有测量时间短、耗气量小、不怕污染等优点。
