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四川英杰电气有限公司
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RHH系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础，为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
● 半砖和机架式安装方式
● 采用全数字控制，具有便捷和丰富的操作菜单
● 频率调谐、脉冲和脉冲同步功能
● 具备CEX相位同步功能
● 完善保护功能
| 输入 | 输入电压：AC220V±10% 3ΦAC380V±5%（特殊规格可定制） |
| 输入频率：47~63Hz | |
| 输出 | 输出频率： 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz |
| 调谐范围：±5% | |
| 输出功率：1.5~5kW | |
| 输出功率调节范围：1~99% | |
| 输出阻抗：50Ω+j0 | |
| 输出接口：N型 | |
| 输出模式：连续、脉冲 | |
| 脉冲频率：100Hz~100kHz | |
| 占空比： 5~95% | |
| 性能指标 | 功率因数：0.98 |
| 频率稳定精度：±0.005% | |
| 效率：75%（额定输出时） | |
| 谐波：＜-45dBc | |
| 杂散：＜-50dBc | |
| 外部控制接口：模拟量、通讯、同步 | |
| 通信方式：标配RS485通讯接口；可选Ether CAT、工业以太网等 | |
| 注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。 | |
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