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分子束外延系统

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更新时间：2024-02-26 15:50:18浏览次数：184次

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中科艾科米（北京）科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：23条

所在地区：北京北京市

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产品简介

主要特点/MAINFEATURE主要特点/MAINFEATURE●结构紧凑、操作简单、节约成本●结构紧凑、操作简单、节约成本产品应用/APPLICATIONS●表面科学

详细介绍

主要特点 / MAIN FEATURE

●结构紧凑、操作简单、节约成本

产品应用 / APPLICATIONS

● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。

产品应用 / APPLICATIONS

● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。

技术参数 / TECHNICAL DATA

CMP-MBE	8英寸不锈钢球形真空腔体
本底真空	<1×10^-10 mbar
四轴高低温样品台	X/Y方向移动：±5mm； Z方向移动：150mm；轴向旋转：±180°；高温：1300K（电子束加热）；低温：100K（液氮冷却）。
蒸发源	5个
离子枪	2~5KeV离子枪，配备Port Aligner
可选项	（1）QCM；（2）红外测温仪；（3）反射式高能电子衍射仪