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中科艾科米（北京）科技有限公司
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主要特点/MAINFEATURE主要特点/MAINFEATURE●业界的闭循环无液氦制冷方式
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 业界的闭循环无液氦制冷方式，样品温度低于4K，运行成本低，降温速度快
● 结合高刚性SPM探头，媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托，可实现变温的电学运输测试
● 可扩展光学通道及原位沉积功能
● 可直接使用制冷剂（液氮/液氦）降温，实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装，可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
● 业界的闭循环无液氦制冷方式，样品温度低于4K，运行成本低，降温速度快
● 结合高刚性SPM探头，媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托，可实现变温的电学运输测试
● 可扩展光学通道及原位沉积功能
● 可直接使用制冷剂（液氮/液氦）降温，实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装，可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
STM系统性能测试数据 / STM TEST DATA
STM系统性能测试数据 / STM TEST DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| SPM探头 | 兼容qPlus AFM | |
| 工作温度 | 4~300 K | |
| 室温降至温时间 | 约7 h | |
| X/Y/Z粗移动范围 | ≥2×2×5 mm | |
| X/Y/Z扫描范围 | ≥4×4×1 μm@±220 V RT | |
| ≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT | ||
| 分辨率 | 亚纳米级分辨率 | |
| 温度漂移 | Z方向热漂移：≤20 pm/h@4K | |
| XY方向热漂移：≤100 pm/h@4K | ||
| 温度稳定性 | ±1 mk@恒温实验室环境 | |
| 样品台 | 运动方式 | 三维运动、轴向旋转、样品面内旋转 |
| 温度范围 | -150℃~室温（LN2冷却）；室温~1000℃（E-Beam加热） | |
| 蒸发源 | DN40CF 5个、DN63CF 1个（其他需求可按需定制） | |
| 可选项 | 光学通道，适用于光学实验 | |
| 反射式高能电子衍射仪 | ||
| 低能电子衍射仪 | ||
技术参数 / TECHNICAL DATA
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