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成都真空厂家大口径干法刻蚀机装备可定制

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更新时间：2023-12-05 17:20:36浏览次数：118次

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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备大口径高均匀性特殊微纳结构基片刻蚀可定制

详细介绍

●Surpass系列干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。

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