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适合洁净干燥制成的真空解决方案普发真空的多级罗茨泵广泛应用于各种领域，提供洁净干燥的真空环境例如，在例子加速器中，小型ACP罗茨泵能制造涡轮分子泵所需的前级真空
适合洁净干燥制成的真空解决方案
普发真空的多级罗茨泵广泛应用于各种领域，提供洁净干燥的真空环境
例如，在例子加速器中，小型 ACP罗茨泵能制造涡轮分子泵所需的前级真空。具有抽速高、最终压力低等特点的大型 ACP 120可用于冷冻干燥行业。A 100、A3P 或 A4 系列干泵则在半导体和真空镀膜行业中被大量地用作工艺用泵。所有这些领域都有一个共同特点：它们均需要洁净和干燥的真空环境。针对该要求，多级罗茨泵技术提供了的解决方案。无摩擦的真空泵运转模式，使转子和定子之间无需使用润滑油和密封材料。从而避免碳氢气体的回流。在泵的吸入腔，不会发生密封件磨损现象。这意味着泵内无任何颗粒物，具有长期可靠而稳定的优异性能，这将极大降低产品的运营成本。
多级罗茨泵在清洁工艺中的使用范围
ACP系列中的气冷多级罗茨泵保养间隔时间长，其稳定可靠的性能使其脱颖而出。它们可用于分析应用行业、半导体生产和等离子清洗的洁净工艺中。A 100 L紧凑型罗茨泵因其较小的尺寸而可以轻松地集成到系统中。半导体和光伏生产系统的 Load locks 与传送舱是该类泵的典型应用领域。带有水冷装置的罗茨多级泵 ACP 120系列真空泵是由结实的压铸金属制成。正如罗茨真空泵组 ACG 600，它们经常被用于抽速要求较高的研发、真空镀膜和冶金行业。
腐蚀性的工艺不是问题
A3P系列多级罗茨泵是专为半导体和光伏生产的中型工艺应用而开发的，在此类应用中，必须传输少量的腐蚀性气体或冷凝物。该泵具有紧凑、高能效的特点。低噪音和低震动是该系列产品的突出优点。抽速可高达 1,800 m3/h 的 A4系列真空泵，是由抗腐蚀材料制成的。良好的媒介耐受性及高气流量，使这些多级罗茨泵成为半导体行业 CVD 工艺应用的解决方案。
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