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上海德竹芯源科技有限公司
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LUXET THERMO 100 是一款全国产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。
锁相红外测量原理
锁相红外测量过程是通过调制施加的电流或电压，利用视频锁相算法来达到降低背景噪声的目的。利用这个技术，器件的失效点可非常精确地被定位。
特色
● 制冷型中波红外相机
测温波长：3.7~4.8μm
测温精度：0.1mk
● 不同倍率的镜头
WA 1X 8X
● 高电压、电流输出
输出电压：≤3000V
输出电流：≤3A
● 全国产化供应链
中国合肥 Made in China
应用场景
● 电极之间的短路
● 器件电阻异常
● 漏电和击穿
● 器件上的温度分布
物镜
制冷型中波红外相机
操作软件
自主研发的测量软件，包括时域充构、深度测量、图像暂存、电压-电流测量等功能。
尺寸参数
规格型号：Thermo 100
宽*深*高：1300*1094*2160 mm
重量：Approx. 600kg
工作条件
电压：AC200V
真空：大于50kPa
压缩空气：0.6 - 0.8MPa
运动行程
X: ±80mm
Y: ±80mm
Z: 450mm
尺寸参数
规格型号：Thermo 100
宽*深*高：1300*1094*2160 mm
重量：Approx. 600kg
工作条件
电压：AC200V
真空：大于50kPa
压缩空气：0.6 - 0.8MPa
运动行程
X: ±80mm
Y: ±80mm
Z: 450mm
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