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四川英杰电气股份有限公司
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微波开关电源是基于IGBT高频逆变技术的新型微波电源，集阳压电源、灯丝电源和磁场电源(3kW微波电源除外)于一体,为3kW、6kW、10kW、15kW、25kW、75kW、100kW连续波磁控管提供工作条件。该产品用于MPCVD、微波等离子体刻蚀、微波等离子体去胶等领域。
● 高频逆变技术，功率密度高，体积小，可靠性高
● 响应快、控制精准、稳定性好
● 产品具有恒压、恒功、恒流控制模式
● 所有外部连接件全部采用快插端子和航插，安装维护便捷
● 灯丝电源配置灵活，可内置亦可外置
● 快速打火检测及保护
● 丰富、快速的检测和保护功能
● RS485标准通讯接口
● 采用标准机箱（3U：3kW、6kW,6U：10kW、15kW、25kW），安装方便
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| 1kW微波电源 | 3kW微波电源 | 5kW微波电源 | 10kW微波电源 | 15kW微波电源 | 30kW微波电源 | 75kW微波电源 | 100kW微波电源 |
| 阳极额定电压电流 | 4.75kV370mA | 5.5kV1000mA | 7.2kV1300mA |
| 10kV1600mA | 12.5kV1800mA | 13kV3000mA | 18kV4500mA |
| 灯丝额定电压电流 | DC3.5V10A | DC6V25A（内置） | DC12V40A（外置） |
| DC15V50A（外置） | DC15V50A（外置） | AC15V110A（外置） | AC15V120A |
| 磁场额定电压电流 | - | - | DC20V5A | DC100V5A | DC100V5A | DC100V5A | DC100V5A | DC100V10A |
| 注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。 | ||||||||
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