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四川菲克科技有限公司
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光栅尺闭环，大承载，高精度
 | (1) 光栅尺闭环，大承载，高精度 |
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| 产品分类 | 伺服升降台 | 伺服升降台 | 伺服升降台 |
| 产品型号 | FMSZ170S-100 | FMSZ170S-200 | FMSZ170S-300 |
| 外形尺寸 | 529x170x85.5 | 629x170x85.5 | 729x170x85.5 |
| 台面尺寸（mm) | 170x170 | 170x170 | 170x170 |
| 电机 | 伺服电机 | 伺服电机 | 伺服电机 |
| 行程（mm) | 100 | 200 | 300 |
| 速度（mm/s) | 100 | 100 | 100 |
| 负载(Kg） | 20 | 20 | 20 |
| 分辨率（um) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 最小位移量(um) | 1 | 1 | 1 |
| 单向重复定位精度(um) | ±1 | ±1.5 | ±2 |
| 双向重复定位精度(um) | ±2 | ±3 | ±4 |
| 定位精度(um) | ±10 | ±12 | ±15 |
| 直线度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 平行度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 偏摆(") | 30 | 30 | 30 |
| 俯仰（“） | 30 | 30 | 30 |
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