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深圳纳恩科技有限公司
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产品简介：产品简介：NE-PE05 是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位···
NE-PE05是一款小型真空等离子体表面处理仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打 样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于 1-2 Pa 的真空压强，同时根据客户工 艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入 的工艺气体产生等离子体，并 确保稳定产生高密度，高能量 的离子。等离子体与材料发生 复杂的物理，化学反应，可以 实现不同的工艺功能，比如清 洗，活化，刻蚀与涂敷等。等 离子态显著的特点是高均匀性 辉光放电，根据不同气体发出 从蓝色到深紫色的色彩可见光。
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•双层托盘设计，可调节托盘间距
•8K 镜面不锈钢腔体，密封性
•可支持 13.56 MHz 射频发生器，与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制，有两个额外控制器的选择 ( 4 个)
| 序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配，远程通信控制 | ||
| 频率 | 40KHz | ||
| 2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
| 腔体容积 | 5L | ||
| 电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘 | ||
| 腔体直径（圆形） | 150（W）×280（D）mm | ||
| 有效处理范围 | 130（W）*245(D)mm | ||
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
| 3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
| 气路数量 | 最小 2 路气体，支持氧气，氩气，氮 气，氢气，四氟化碳等 | ||
| 4 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
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