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EMS150 离子溅射仪

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更新时间：2023-03-02 11:45:10浏览次数：180次

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产品简介

EMS150/300是一款多功能紧凑型镀膜系统

详细介绍

EMS 150/300是一款多功能紧凑型镀膜系统, 对于SEM, FESEM,TEM样品制备及其它镀膜应用非常理想, 直径为165mm/300mm的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品, 尤其在配套电镜应用中提高成像质量提供6个版本的仪器：
EMS150R S Plus – 喷金仪/离子溅射仪（真空喷镀非氧化型金属, Au, Pt, Pd等）
EMS150R E Plus – 喷碳仪/碳蒸镀仪（真空喷镀碳膜, 特别适用于EDS,EBSD）
EMS150R ES Plus–真空镀膜仪（集150R S和150R E功能于一体, 结构紧凑）
EMS150T S Plus– 高真空离子溅射仪（分子泵超高真空, 多靶材, Cr, W, Cu, Pt等）
EMS150T E Plus– 高真空碳蒸镀仪（分子泵超高真空适用于TEM/Cs-TEM使用）
EMS150T ES Plus–高真空镀膜仪（集150T S和150T E功能于一体, 结构紧凑）
EMS300R T–超大样品室多溅射头镀膜仪（ 300mm超大样品室，3个溅射头保证大面积均匀镀膜效果）
150R是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统，对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5"的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 – 尤其用于在SEM应用中提高成像质量。
150R S Plus
机械泵抽真空离子溅射镀膜仪，适于给样品镀制不氧化金属膜（即贵金属膜），如金、银、铂和钯。
150R E Plus
机械泵抽真空蒸发镀碳仪，使用碳丝或碳绳为SEM样品镀膜。
150R ES Plus
集150R S Plus 和150R E Plus两者的功能于一体，节省空间。这个双重用途、结构紧凑、机械泵抽真空的镀膜系统标配有溅射插入头和碳丝蒸发插入头 – 可提供无与伦比的多用途镀膜。
此外，辉光放电选项也是可用的（仅150R S Plus和150R ES Plus版本），它可实现样品表面改性（如疏水表面改为亲水表面）。
快速简便：快速、易更换的镀膜插入头，能在同一个紧凑设计中实现金属溅射、碳蒸镀和辉光放电三者之间的快速转换。
采用全自动触摸屏控制,可快速输入数据。与镀膜处理方法及镀膜材料相适配的镀膜参数方案可通过触摸按键实现预设并储存。自动放气控制功能确保了溅射期间的真空状态，可提供良好的一致性和可重复性。
易使用：智能识别系统可自动探测安装了何种类型的镀膜插入头，以便立即运行相应的镀膜方案。可存储多个用户自定义的镀膜方案 – 这对于需更改镀膜参数实现不同应用的多用户实验室非常理想。多种样品台组件适用于各种尺寸和类型的样品；所有样品台都带有快速、易更换及落入式设计的特点。
功能强大、可重复镀膜及高可靠性：可预编程的镀膜参数及方案能确保一致且可重复的结果。需要沉积厚膜时，本系统提供长达60分钟且无需破真空的溅射时间。设计*的碳蒸镀插入头操作简单,具有对蒸发电流参数的控制，确保了SEM应用中一致的和可重复的碳沉积。可选的膜厚监控附件用于可重复的膜厚控制。
适配性强且用途广：溅射、碳蒸镀、辉光放电插入头及多种可选件，使Q150R对于多用户实验室应用非常理想。可溅射一系列不氧化金属，如金、银、铂和钯。碳丝蒸镀插入头处理样品速度非常快。也可选用碳棒蒸发。还可应用于金属薄膜研究及电极的应用。
EMS 150R S Plus– 紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金属
EMS 150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪
EMS 150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪
新款改进
● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
● 固件更新，新版操作界面类似安卓系统，便于客户上手
● 新的彩色LED可视状态指示灯
● USB接口可以用于固件更新，并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备
● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件，以便统计分析
技术参数
仪器尺寸 585mm W x 470mm D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm)
重量 28.4kg
包装尺寸 725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
工作腔硼硅酸盐玻璃，152mm Ø (内) x 127mm H
安全钟罩 PET材质
显示 145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示
用户界面直观全图形界面，触摸屏控制
溅射头标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶（Q150R S，Q150R ES）
样品台 50mm Ø旋转样品台，带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8"钉形样品座孔，旋转速度8-20 rpm
真空
机械泵 Edwards RV3 50L/s双程机械泵
真空测量标配Pirani规
极限真空 2 x 10-2mbar
工作真空 3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间
操作过程
溅射 0-80mA，溅射时间60 min
碳蒸镀电流脉冲：碳绳，1-60 A；1.4mm Ø碳棒，1-90 A
辉光放电 0-80mA，DC+及DC-模式
其它
工作气体 Ar气，99.999%，N2为排放气体（选件）
电源 90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA
认证 CE

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